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型号：BTF-1700C-CVD
设备特点：
此(ci)款1700℃高(gao)温高(gao)压CVD软(ruan)(ruan)件(jian)程(cheng)序(xu)软(ruan)(ruan)件(jian)，是(shi)由1700度管(guan)式(shi)炉(lu)、三(san)路(lu)水(shui)(shui)平(ping)流量的(de)(de)计(ji)软(ruan)(ruan)件(🉐jian)程(cheng)序(xu)软(ruan)(ruan)件(jian)或(huo)(huo)是(shi)国产a高(gao)正空体(ti)(ti)学(xue)习(xi)环(huan)境软(ruan)(ruan)件(jian)程(cheng)序(xu)软(ruan)(ruan)件(jian)（或(huo)(huo)标配(pei)低正空体(ti)(ti)学(xue)习(xi)环(huan)境软(ruan)(ruan)件(jian)程(cheng)序(xu)软(ruan)(ruan)件(jian)）所(suo)设(she)(she)计(ji)。此(ci)设(she)(she)施包括使用(yong)在:正空体(ti)(ti)学(xue)习(xi)环(huan)境或(huo)(huo)工作氛围焙烧、基片渡膜(mo)等条件(jian)热(re)处理温度因素较高(gao)的(de)(de)进行(xing)实验所(suo)学(xue)习(xi)环(huan)境. 设(she)(she)施水(shui)(shui)平(ping)成(cheng)熟完善、水(shui)(shui)平(ping)可信，温场平(ping)均(jun)，设(she)(she)计(ji)有效率，气路(lu)适(shi)用(yong)lcd屏屏触摸式(shi)游戏界(jie)面，可使工作失常简单化(hua)、不方(fang)便；设(she)(she)施的(de)(de)各类水(shui)(shui)平(ping)参数设(she)(she)置(zhi)，30段可程(cheng)序(xu)设(she)(she)计(ji)恒(heng)温软(ruan)(ruan)件(jian)程(cheng)序(xu)软(ruan)(ruan)件(jian)这是(shi)显而易(yi)见,使某个进行(xing)实验所(suo)的(de)(de)运转睡眠状(zhuang)态尽在您的(de)(de)把控里。
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升(sheng)温区产品(pin)参数： | 炉管规格尺寸(cun)：Φ60/80×1000mm（外径(jing)能选） 受热开关元件：硅钼棒 加热区长度：300mm 推荐升温速度： 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min 固定工作效率：5.2 KW 尽寸尽寸：610×440×720 mm 规范标准配饰：高纯1支，2对，1套，2套，1副，1支，小保险公司1个； 隔绝机系统：炉管(guan)(guan)两(liang)端(duan)配备不锈钢圆管(guꦬan)(guan)隔绝法(fa)兰部(bu)（主要(yao)包括精细针阀，指示针式真(zhen)空(kong)环境压为表和软水管(guan)(guan)式宝塔嘴管(guan)(guan)接头） 串口可按实(shi)际的采用寻址。 |
气路系统参数：
| 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可选） 准(zhun)确度：±1.5% 线性(xing)：±0.5～1.5% 重复精(jing)度：±0.2% 响应时间(jian)：气特(te)性：1～4 Sec，电特(te)性：10 Sec 工作压(ya)差(cha)范围(wei)：0.1～0.5 MPa 大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显(xian)示：4位数字显(xian)示 工作环(hಌuan)境温度:5~4🌃5高纯气体 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 直接(jie)头业务类型：双卡套不銹钢直接(jie)头。 可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数：
| 国内生产的(de)汽油泵尺寸：BSV-10 抽速：10m³/h 极限真空度：5*10-1pa 外接电(dian)源：220v 50hz 变频电动机电功(gong)率：0.4kw 进res排气对接(jie)口：KF25 用剩余油量：1.1L 三相电机速比：1440rpm 工作中(zhong)自然环境湿度：5-40℃ 噪声：≤56db 电阻真空计参数： 1.搭载规管：ZJ-52T电阻器(qi)规， 2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.检测路(lu)(lu)数(shu)： 1路(lu)(lu) 4.控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.有效(xiao)控制方法：继(ji)电嚣触点开关(guan)输(shu)出(cꦦhu)电压，♚根据(ju)能力素质 AC220V/3A (或(huo)DC28V/3A)没什么感觉根据(ju)， 6.电压(ya)： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.输出功率： 20W 应用纹线管人(ren)工(gong)手动开(kai)启机组挡条阀与真(zhe🔜n)空环境机系统(tong)连在一起(qi)接。 |
高真空系统参数：
| 空气质量较为温度(du)湿度(du)：≤85% 上班交流(liu)电(dian)压：AC220V±10% 50/60HZ 工作效率：1KW 系统整体极限真空度：10-5Pa 实验真空度：10-3Pa 性能长(zhang)宽比：850×600×650mm 机械泵: 抽(chou)气(qi)时延(yan)：10m³/h 容剩余油：1.1L 主轴电机工(gong)作功(gong)率：400W 极限压强：6×10-2Pa 分子泵: 抽气(qi)数率(lv)：100L/S 极限压强：6×10-6Pa 重(zhong)新启动日期：＜2min 额定容量时(shi)速：4300转/分 水冷式却方试：室(shi)内环(huan)境体温5-32℃时(shi)，𒁏风冷；5-40℃时(꧋shi)，水冷式。 分子泵控制器: 电阻：220V±22V 再启动直流(liu)电：≤7A 设(she)置的频率：47HZ—63HZ 大读取(qu)工作电压：≤150W 大下载加速电压(ya)值：≤40V 迅速时刻：≤3min 帧率（双(shuang)速(su)）：绕城高(gao)速(su)705HZ±10HZ 🍨;慢速430HZ±5HZ 复合真空计: 测量方(f♊ang)法路(lu)数：2路(lu)（电阻功(gong)率规(gui)、电离规(gui)各(ge)1路(lu)） 业(ye)务(wu)形(xing)式：自动式/自动式 内阻单元测试卷技术(shu)指标 规管(guan)尺寸：ZJ-52T电阻功率规 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 电离单元尺寸主要(yao)参数 规管材质(zhi)：ZJ-27电离(li)规 可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa 规管除(chu)气(qi)行(xing)为：焦耳去气(qi) 某些参数指标 操控路数：4路 操控模式：点动或区域内操控/带掉电记(ji)忆里 掌控定位精(jing)度：±1% 抽样时间间隔：1S 供电(dian)：220V±10% 50HZ 额定功率：50W 施用氛围温度(du)表：0℃~45℃ 温度湿度：≤85% 接入蒸汽管道: 采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10-9Pa.m3/s 采取水双壁波纹管手(shou)工档板阀与抽真﷽(zhen)空系统软件(jian)接(jie)接(jie)接(jie)。 |
备注： | 可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。 |
